【RL-556】Bruker 触針式プロファイリングシステム 膜厚段差・粗さ計測 Dektak XTL

寸法：約　W97.8 D95.4 H171.4 cm ※本体のみ

重量：約　272kg

仕様：測定方法 触針式プロファイル測定
測定能力 2次元表面プロファイル測定
3次元測定
サンプル観察 サイドビューカメラ：2.5mm x 4.25mm
トップダウンカメラ：11.5mm x 15.5mm
スタイラスセンサー
低慣性センサー（LIS3）＋N-Lite　低触圧センサー
触圧 0.03 15mg
スタイラスオプション
先端曲率の選択　（50nm　～　25μm）
その他ご希望に応じて対応可能
サンプルX/Yステージ
高精度エンコーダ自動300mmX/Y
サンプルR-θステージ
自動、360°連続駆動
コンピュータシステム
64ビットマルチコアパラレルプロセッサ
Windows7
23インチモニタ
ソフトウェア Vision64　オペレーション
解析ソフトウェア
ストレス測定
ステッチング
3Dマッピング
曲率解析
段差解析
ラディアルマッピング
生産管理用スクリーンモード
手動パターン認識機能
ソフトウェアオプション
自動パターン認識機能
Advanced Production Interface
防振機能 空気ばね式防振機能一体型
スキャン長 300mm
スキャン毎の測定ポイント
最大120,000ポイント
最大サンプル高さ
50mm
最大ウェハサイズ
300mm
最大サンプルサイズ
350mm
段差測定再現性
<5Å　(1σ@0.1μm段差測定時)
高さ測定範囲 1mm
高さ分解能 1Åmax (@6.55μm レンジ選択時)
入力電圧 100 240VAC、50 60Hz
温度範囲 20 25℃
湿度範囲 ≦80%　結露無
安全基準 CE, NRTL, S2, S8

■販売条件

・お客様都合の返品について　
　お客様のご都合による返品については、往復送料をご負担いただいた上で、可能な限り対応させていただきます。但し、返品対応は商品到着後10日以内にご連絡いただいた場合に限らせていただきます。

・構成品の不足による返品
　１枚目の写真に写っていた物が不足していた場合は返品保証の範囲内ですが、写真に写っていない付属品不足による返品につきましては、原則としてお客様都合扱いになります。
　必要な付属品が多数にわたり、写真でのご判断が難しい場合は必ず発送前にお電話等でご確認ください。

・保証内容
　保証の内容については、全て返品、返金又は交換にて対応させていただきます。
　また、返金金額はお支払いいただいた代金の全額（商品代金＋税＋送料）になります。

・お支払について
　原則として、代金お支払後に発送させていただいております。また、お支払は弊社指定の口座への銀行振り込みでお願いしております。
　振込手数料はお客様のご負担となりますのでご了承願います。

・配送の範囲
　配送において、商品の据え付けは対象外です。ご希望の場合は別途費用が発生いたします。

・お買い求めいただくにあたり
　当社で販売している商品は、一部を除き全て中古品です。多少のキズや汚れがございますので、予めご了承の上でお買い求めください。

■保証

・動作確認事項保証14日間
　「動作確認事項」に記載されている内容に相違があった場合のみ、商品到着後14日間の返品保証をいたします。

■発送方法

・精密機器チャーター便

大型装置の為、配送につきましては事前のお打ち合わせが必要となります。